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CVD涂層設備

產品編號:

關鍵詞:

cvd 10-100l 氮氣 CVD涂層設備

詳情介紹

 

設備用途
提供具體真空、可控氣氛及高溫的實驗環境,應用在半導體,納米技術,碳纖維等新材料工藝領域。


主要技術參數
1、額定功率:30KW
2、最高溫度:500℃
3、有效工作區尺寸:Φ400×800mm
4、空爐冷態極限真空度:≤20Pa(15min內能抽到20Pa以下)
5、冷態壓升率:≤2Pa∕h
6、充氣壓力(微正壓):≤0.01Mpa
7、工作氣氛:空氣和氮氣    
8、兩個空氣浮子流量計:1-10L/min,10-100L/min
9、兩個氮氣浮子流量計:1-10L/min,10-100L/min
10、樣品轉速:1-10r/min
11、發熱元件:Cr20Ni80
12、測溫方式:K型熱電偶
13、控溫精度:±1℃
14. 溫度均勻性:±5℃
15、樣品尺寸:Φ300×300mm;數量:2
16、爐型:臥式

注:可根據用戶要求定制各種型號非標產品。

產品詢價

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